电子束曝光技术作为纳米级图形加工的核心手段，其精度直接决定了半导体器件、微光学元件及掩模的制造水平。而高压电源作为电子束曝光机的能量中枢，其输出稳定性与抗干扰能力对电子束聚焦精度、定位准确性及线条分辨率具有决定性影响。随着工艺节点向亚5纳米迈进，电源系统的抗干

电子束 高压电源 曝光机 电子束曝光机 曝光机高压电源 2025-08-28 08:45  3